工序数:蒸镀前 Mask 准备过程每张 Mask 需要经历制作、清洗、检查的过程
台套数:单 AMOLED 30K 工厂需求≥6台/套
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| 高精度稳定搬送 | 精密工艺控制 | 基板表面处理能力强 | 全面防污染设计 | 系统化解决方案 |
设备参数
清洗质量 | 无mura、水痕、锈斑、脏污、无损伤 |
平坦度 | 百微米级 |
Total Pitch变化 | 微米级 |
Defect数量 | 10ea |
搬送重复精度 | 毫米级 |
温度稳定性 | ±1°（60°以内） |
| 超声波 | 4波段复频超声波，频率可自由切换 球面波超声技术，无死角 |
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光伏
半导体