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TGV中试平台

依托长期以来深耕大尺寸玻璃面板工艺技术及应用装备开发及产业化的积淀,晶洲聚焦玻璃基板级先进封装,致力于突破TGV技术瓶颈,打通「装备 – 工艺 – 应用」全链条自主可控体系。随着国内首个完整TGV整线验证开放平台的建成,晶洲正以一站式测试与研发全链条支撑,为上下游客户构筑从实验室到量产的坚实桥梁。

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晶洲TGV中试平台全景
TGV 中试开放平台
全流程装备与工艺双验证

      依托长期以来深耕大尺寸玻璃面板工艺技术及应用装备开发及产业化的积淀,晶洲聚焦玻璃基板级先进封装,致力于突破TGV技术瓶颈,打通「装备 – 工艺 – 应用」全链条自主可控体系。随着国内首个完整TGV整线验证开放平台的建成,晶洲正以一站式测试与研发全链条支撑,为上下游客户构筑从实验室到量产的坚实桥梁。


PROCESS 01

TGV 制孔

"激光诱导 + 湿法孔刻蚀"组合工艺,使用高温碱刻蚀,温控与循环性能优异,均匀性好。垂直篮式工艺设计,产能大,适配面板级封装规模化生产需求,助力降低制造成本。

通孔直径
15 – 200 μm
直径均匀性
±0.5 μm @50 μm
真圆度 U%
≤ 5%
均匀性 U%
≤ 5%
兼容玻璃厚度
0.1 – 1.1 mm
工艺方式
垂直篮式 · 高温碱刻蚀


PROCESS 02

金属化

采用双面电化学沉积设备,兼容可溶及不可溶阳极设计,直流加脉冲电镀工艺。薄片加工能力可至0.3-1.5mm,满足高精度TGV金属化填充与布线需求,确保优异的导电性与可靠性。

电镀均匀性
< 7%
深宽比
≤ 10:1 @Φ50 μm
加工厚度
0.3 – 1.5 mm
电镀工艺
直流 + 脉冲电镀
阳极设计
兼容可溶 / 不可溶阳极
设备类型
双面电化学沉积



PROCESS 03

图形化

创新采用气浮涂布设备,避免物理接触损伤,保障基板表面完整性。垂直显影设备采用特殊夹持工艺,适用薄板或脆性材料,实现高精度图形转移,满足先进封装微细线路需求。

显影线宽 / 线距
L/S: 5/5 μm
涂布方式
气浮涂布 · 无接触
显影方式
垂直显影 · 特殊夹持
适配材料
薄板 / 脆性材料

tuxinghua.png

PROCESS 04

湿法工艺

在晶洲半导体的TGV(玻璃通孔)整线工艺体系中,湿法工艺是贯穿全流程的核心环节。晶洲依托在高端湿制程装备领域的深厚积淀,为玻璃基板级先进封装提供了高精密、高一致性的湿法工艺解决方案。

前处理成孔图形化金属化后处理 

SERVICES

从「实验室」到「生产线」的加速器

晶洲TGV中试线平台不仅是技术研发的"试验田",更是产业转化的"孵化器"。面向先进封装企业、科研院所、高校,提供一站式服务,适配多领域高端需求。

工艺开发

定制化TGV工艺开发、参数优化、良率提升方案,助力合作伙伴快速突破技术瓶颈,缩短从概念验证到工艺定型的关键路径。

中试打样

提供小批量TGV玻璃基板、封装样品制造,快速验证设计可行性,缩短产业化周期,降低客户试错成本与投资风险。

设备定制

根据客户需求定制TGV全流程湿制程设备,提供全套售后技术支持,从方案设计到交付运行全程陪跑。

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