碎片率

碎片率≤0.01%，良率99.7%

Uptime

≥98.2%

产品适应性

适用于硅片尺寸：156x156mm，Max:170*170mm；

硅片厚度140~220um(大尺寸向下兼容，不需要更换槽体）

药液寿命

15万片以上

预热系统

热水温度在80-85°C，减少换液时间

配槽精度

药水配液精度1%

补液精度

核心槽精度：±0.25ml，非核心槽精度±1.0ml

温控精度

±0.35℃

循环系统

专利技术，400L槽体可实现20秒内快速循环均匀

快速换液

设备模块化设计，分级多段控制，支持滚动生产，换液配槽不停机

工艺能力

设备可兼容时创、纳鑫等多种知名添加剂

生产管理

分四级管理操作权限，便于客户生产管理