制绒产能 | 400片设备：单晶>8500片/H,多晶>9000片/H |
碎片率 | 碎片率≤0.01%，良率99.8% |
Uptime | ≥98.5% |
产品适应性 | 适用于硅片尺寸：156x156mm，Max:210*210mm；硅片厚度100~200um(大尺寸向下兼容，不需要更换槽体） |
制绒槽体药液寿命 | 10万片以上(大尺寸硅片化学品耗量基本不增加) |
具备纯水预热系统 | 热水温度在75-80°C，减少换液时间 (高效喷淋清洗减少纯水用量) |
减薄量均匀性 | 允许偏差3%（每蓝抽测减薄量偏差，大花篮与大花篮之间、减薄量偏差） |
温度控制精度 | ±0.8℃ |
自动补液 | 工艺槽体药液使用自动补液系统（流量计、磁制伸缩液位计配合恒压罐计时添加） |
下料干燥要求 | 搭配超高洁净度干燥系统（氮气辅助加热） |
下料后反射率 | 单晶反射率≤12%，多晶反射率≤15% |
硅片外观 | 干进干出，干燥系统配置超高精度过滤器 |
参数记录 | 保留最近1年以上参数修改记录（工控机控制，预留MES通讯接口） |
TOPCon湿法成套设备
制绒产能400片设备：单晶>8500片/H,多晶>9000片/H碎片率碎片率≤0.01%，良率99.8%Uptime≥98.5%产品适应性适用于硅片尺寸：156x156mm，Max:210*210mm；硅片厚度100~200um(大尺寸向下兼容，不需要更换槽体）制绒槽体药...
