设备产能

400片设备：单晶>9000片/h

碎片率和良率

碎片率≤0.01%，良率99.8%

Uptime

≥98.5%

温度控制精度

±0.8℃

制绒槽体药液寿命

9万片以上

纯水预热系统

热水温度在75-80°C，减少换液时间

减薄量均匀性

允许偏差3%（每篮抽测减薄量偏差，大花篮与大花篮之间减薄量偏差）

自动补液

工艺槽体药液使用自动补液系统，（流量计、磁致伸缩液位计配合恒压罐计时添加）

下料干燥要求

搭配超高洁净度干燥系统（氮气辅助加热）

下料后发射率

≤12%

硅片外观

干进干出，干燥系统配置超高精度过滤器

参数记录

保留最近1年以上参数修改记录（工控机控制，预留MES通讯接口）