国内首台TOPCon 用6篮碱抛刻蚀清洗设备成功下线

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近日,由晶洲装备自主研发、生产的国内首台量产型单槽6花篮大产能碱抛刻蚀清洗设备在晶洲智能装备生产基地成功下线,该设备适用于TOPCon和PERC电池的湿法碱抛工艺,顺利发往客户端。

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晶洲装备是中国高端湿制程装备及工艺技术综合解决方案提供商,业务涉及太阳能光伏、平板显示、半导体等多个领域。多年来,晶洲装备围绕自身的核心湿制程技术优势,深耕光伏N型电池关键湿法技术,2018年开始布局TOPCon电池湿法工艺设备。2021年,晶洲在TOPcon电池湿法领域全面突破,成套设备批量交付客户并通过设备工艺验证,已交付设备涵盖了制绒清洗机、去BSP清洗机、碱抛刻蚀清洗机、去PSG清洗机、去绕度RCA清洗机等湿法主工艺设备。

 

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▲晶洲装备TOPCon电池湿法成套设备产能配置

 

本次晶洲下线的碱抛刻蚀清洗设备采用单槽6花篮设计,每小时产能14400片,极大改善了链式去BSG或PSG+碱抛设备工序的产能瓶颈;该设备采用多项晶洲自主研发的独创设计,在提升设备产能的同时,降低设备单耗、能耗,提升设备工艺稳定性。

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▲正在拆机中的国内首台单批次6花篮碱抛设备

 

独创的防带液串槽设计:

采用新型槽体结构,工艺兼容性强,可收集花篮70%的带液量,最大程度减少不同的药水串槽,避免药水交叉污染,降低单耗,提升药水使用寿命,在清洗能力、洁净度、工艺稳定性方面表现非常优秀。

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▲正在拆机中的国内首台单批次6花篮碱抛设备

 

独创的槽体循环设计:

行业独创V型底板,更有利于彻底排空废液,提升槽体换液洁净度,提升药水寿命。反应槽采用第三代分布式盘管循环系统,使药水循环快速平稳,减少槽体上、中、下三层液面温差,改善了因循环和剧烈反应导致的花篮出片现象,大幅度降低大尺寸硅片的粘片概率,在硅片外观、减重和反射率的均匀性方面表现优异。

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▲正在拆机中的国内首台单批次6花篮碱抛设备

 

       近年来我国紧锣密鼓地布局环保事业,大幅度投资新能源领域,中国已经超过美国和德国,成为了世界上最大的太阳能设备出口国。为响应国家政策,晶洲装备围绕自身的核心湿制程技术,在环保与新能源领域大力钻研部署,此次国产首台单批次6花篮碱抛刻蚀清洗机的成功下线,正是晶洲数年来努力成果的体现,晶洲相信,跟随国家政策,部署清洁能源领域,是利国利己利于未来的正确举措。

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