1、适用工艺：TOPCon

2、HF槽有效长度：4.6米

3、轨道数：12道182；10道210

4、额定带速：4.5~5.0m/min

5、设备产能：182:≥16000片/小时；210:≥12500片/小时

6、设备特点：

1）高带速精准带液刻蚀滚轮滚轮，有效避免翻液及过刻；

2）精细化智能化动力水膜控制，无极控速控流，精密控制水膜量；

3）多匀流+多流道精确流体流场设计，液面更稳定；

4）多区流体液面控制，精确控制刻蚀阶段液面高度；

5）超级风刀，高带速吹干效果稳定