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碱抛刻蚀清洗机设备

碱抛刻蚀清洗机设备

TOPCon/PERC用单批次6花篮槽式碱抛刻蚀清洗机设备

1、适用工艺:TOPCon、PERC

2、核心槽数量:碱抛槽2个

3、花篮规格:100-200片

4、花篮数量:6个

5、设备产能:182:16000/小时;210:12500/小时

6、设备特点:

1)防带液串槽设计,可收集花篮70%带液量,最大程度减少不同药水串槽;

2)节流定量控制装置+疏水管路+软件补偿算法,实现毫升级控制精度;

3)分布式盘管循环系统,改善因循环和剧烈反应导致的花篮跑偏现象;

4)高精度温控系统,借助循环系统,工艺槽可实现±0.5℃的控温精度;

5)高效烘干系统,各类不同机型,600~700秒全干效能(含Cassette);

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