清洗质量:INC无mura、水痕、锈斑、脏污,无损伤
平坦度:百微米级
Total Pitch变化:微米级
Defect数量:10ea
搬送重复精度:毫米级
温度稳定性:±1°(60°以内)
超声波:4波段复频超声波,频率可自由切换
球面波超声技术,无死角
晶洲装备从G2.5到G6及以上尺寸掩模版清洗机设备的自主研发研发
清洗质量:INC无mura、水痕、锈斑、脏污,无损伤
平坦度:百微米级
Total Pitch变化:微米级
Defect数量:10ea
搬送重复精度:毫米级
温度稳定性:±1°(60°以内)
超声波:4波段复频超声波,频率可自由切换
球面波超声技术,无死角