被清洗件规格：12英寸圆片,花篮规格(350mm×217×mm×310mm)

产能：1篮/批，13片/批

节拍：0~9min可调      

工艺流程：上料—显影---QDR—CDA干料—下料

控制：采用触摸屏+PLC控制

安全保护：具有液位保护、漏电漏液保护、加热循环保护等

骨架：国产优质Q235A骨架外包3mm厚PP-W板保护

外壳：10mm厚德国劳士领PP-W板焊接而成

台面：10mm厚德国劳士领PP-W板,表面钻φ12圆孔     

管路：管路位于机台下/后部，管道采用PP和PFA管路相互配合使用